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三菱電線工業販売株式会社
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機器部品

[航空・宇宙関連用シール製品]航空・宇宙分野で要求される「絶対的な信頼性」確かな技術と高い品質が空の安全を守ります

家電から航空・宇宙分野まで、現在の生活に欠かすことのできない半導体・FPD製品。
当社のシール製品はそれら製造装置のあらゆる部位で活躍しています。
日進月歩の進化に、迅速かつ的確な開発とクリーン環境下での一貫生産で挑み続けます。

ゲートシール
ゲートシール

ゲートシール

半導体製造装置、FPD装置に使用され、金属弁体とゴムの一体成型品及びゴム単体成型品の2タイプがあります。
ゴム材料の主体はFKMですが、パーフロ(カルレッツ®)も可能です。
シールデザインと材料選定により様々な使用条件に対応可能です。
また、設計確認にはFEM解析を用いております。

メタルOリング
メタルOリング

高温高圧などの過酷な条件下から極低温、超高真空まで幅広い領域で高度なシール性を保持します。

  • 材 料 : SUS321、SUS316L、INCONEL®
  • メッキ : 金、銀、ニッケル、PTFE
特徴
  1. 温度範囲  -270℃~+700℃
  2. 圧力範囲  300MPa~1.3×10-10Pa
  3. シールに要するスペースが小さくてすむため、コンパクトな設計が可能です。
  4. 他の金属製ガスケットよりも、フランジの締付け力を低減できます。
シャフトシール
シャフトシール

シール材料がサンフロン®のラジアルリップシールです。高速性能に優れ、圧力下の耐久性に優れ、広範囲の温 度でほとんど全ての流体に使用できます。優れた耐摩耗性をもっており、ドライ運転でも使用できます。

* カルレッツ®は、デュポン パフォーマンス エラストマーズ エルエルシーの登録商標です
* INCONEL®は、ハンティントン アロイズ カナダ リミテッドの登録商標です
* サンフロン®は、三菱電線工業株式会社の登録商標です

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